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发明名称 COATING DEVICE
摘要
申请公布号 JPH06224113(A) 申请公布日期 1994.08.12
申请号 JP19930029714 申请日期 1993.01.26
申请人 TOKYO ELECTRON LTD;TOKYO ELECTRON KYUSHU KK 发明人 MURAKAMI MASAAKI;DEGUCHI MASATOSHI;FUJIMOTO AKIHIRO
分类号 B05B12/12;B05B13/02;B05C11/08;G03F7/16;H01L21/027;(IPC1-7):H01L21/027 主分类号 B05B12/12
代理机构 代理人
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