发明名称 CHEMICAL VAPOR GROWTH DEVICE
摘要
申请公布号 JPH06224133(A) 申请公布日期 1994.08.12
申请号 JP19930011435 申请日期 1993.01.27
申请人 RYODEN SEMICONDUCTOR SYST ENG KK;MITSUBISHI ELECTRIC CORP 发明人 DOI NOBUAKI;YAMAGUCHI TORU
分类号 H01L21/205;H01L21/22;(IPC1-7):H01L21/205 主分类号 H01L21/205
代理机构 代理人
主权项
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