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发明名称 STRUCTURE OF CONTACT OF SEMICONDUCTOR DEVICE AND ITS FORMATION METHOD
摘要
申请公布号 JPH06224308(A) 申请公布日期 1994.08.12
申请号 JP19930010144 申请日期 1993.01.25
申请人 SONY CORP 发明人 SUZAWA HIROSHI
分类号 H01L21/28;H01L21/768;H01L23/522;(IPC1-7):H01L21/90 主分类号 H01L21/28
代理机构 代理人
主权项
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