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发明名称 LAYOUT INSPECTING DEVICE
摘要
申请公布号 JPH06223131(A) 申请公布日期 1994.08.12
申请号 JP19930010808 申请日期 1993.01.26
申请人 ROHM CO LTD 发明人 OYAMA TOMOJI;UMEMURA EIJI;MORIKAWA MASATO
分类号 G06F17/50;(IPC1-7):G06F15/60 主分类号 G06F17/50
代理机构 代理人
主权项
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