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发明名称 SPIN COATING METHOD AND DEVICE THEREFOR
摘要
申请公布号 JPH06223418(A) 申请公布日期 1994.08.12
申请号 JP19930032661 申请日期 1993.01.28
申请人 VICTOR CO OF JAPAN LTD 发明人 KASAI TOSHIKI
分类号 B05C11/08;B05D1/40;G03F7/16;G11B7/26;H01L21/027;(IPC1-7):G11B7/26 主分类号 B05C11/08
代理机构 代理人
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