发明名称 SUPATSUTARINGUSOCHI
摘要
申请公布号 JPH0660391(B2) 申请公布日期 1994.08.10
申请号 JP19870146032 申请日期 1987.06.11
申请人 ANELVA CORP 发明人 ARIGA YOSHIKI;KITAHARA HIROAKI
分类号 H01L21/203;C23C14/34;H01L21/28;H01L21/285;(IPC1-7):C23C14/34 主分类号 H01L21/203
代理机构 代理人
主权项
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