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发明名称 FILM FORMING DEVICE
摘要
申请公布号 JPH06220627(A) 申请公布日期 1994.08.09
申请号 JP19930162573 申请日期 1993.06.30
申请人 ULVAC JAPAN LTD 发明人 OBINATA HISAHARU;KIYOTA TETSUJI;TOYODA SATOSHI;KADOKURA YOSHIYUKI
分类号 C23C14/34;C23C14/04;C23C14/35;H01J37/34;H01L21/203;H01L21/31;(IPC1-7):C23C14/34 主分类号 C23C14/34
代理机构 代理人
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