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发明名称 FORMATION OF SEMICONDUCTOR THIN FILM
摘要
申请公布号 JPH06216043(A) 申请公布日期 1994.08.05
申请号 JP19930006907 申请日期 1993.01.19
申请人 CANON INC 发明人 TOKUNAGA HIROYUKI
分类号 H01L21/205;H01L21/331;H01L29/73;H01L29/737;(IPC1-7):H01L21/205 主分类号 H01L21/205
代理机构 代理人
主权项
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