发明名称 SAMPLE DEVICE OF ELECTRON MICROSCOPE AND THE LIKE
摘要
申请公布号 JPH06215718(A) 申请公布日期 1994.08.05
申请号 JP19930005827 申请日期 1993.01.18
申请人 JEOL LTD 发明人 KASAI TORU
分类号 H01J37/20;(IPC1-7):H01J37/20 主分类号 H01J37/20
代理机构 代理人
主权项
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