发明名称 SURFACE PRESSURIZATION TYPE SEMICONDUCTOR PRESSURE SENSOR
摘要
申请公布号 JPH06213742(A) 申请公布日期 1994.08.05
申请号 JP19930007092 申请日期 1993.01.20
申请人 FUJI ELECTRIC CO LTD 发明人 KATO KAZUYUKI
分类号 G01L9/04;G01L9/00;H01L29/84;(IPC1-7):G01L9/04 主分类号 G01L9/04
代理机构 代理人
主权项
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