发明名称 |
FORMATION OF SEMICONDUCTOR INTEGRATED CIRCUIT |
摘要 |
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申请公布号 |
JPH06216154(A) |
申请公布日期 |
1994.08.05 |
申请号 |
JP19930312812 |
申请日期 |
1993.11.19 |
申请人 |
AMERICAN TELEPH & TELEGR CO <ATT> |
发明人 |
KUOOFUA RII;CHIENNFUA DAGURASU YUU |
分类号 |
H01L21/336;H01L21/3105;H01L21/322;H01L29/78;(IPC1-7):H01L21/336;H01L29/784 |
主分类号 |
H01L21/336 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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