发明名称 FORMATION OF SEMICONDUCTOR INTEGRATED CIRCUIT
摘要
申请公布号 JPH06216154(A) 申请公布日期 1994.08.05
申请号 JP19930312812 申请日期 1993.11.19
申请人 AMERICAN TELEPH & TELEGR CO <ATT> 发明人 KUOOFUA RII;CHIENNFUA DAGURASU YUU
分类号 H01L21/336;H01L21/3105;H01L21/322;H01L29/78;(IPC1-7):H01L21/336;H01L29/784 主分类号 H01L21/336
代理机构 代理人
主权项
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