发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE AND MANUFACTURE THEREOF
摘要
申请公布号 JPH06216137(A) 申请公布日期 1994.08.05
申请号 JP19930007696 申请日期 1993.01.20
申请人 MATSUSHITA ELECTRON CORP 发明人 HIDAKA YOSHIHARU
分类号 H01L21/322;(IPC1-7):H01L21/322 主分类号 H01L21/322
代理机构 代理人
主权项
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