| 发明名称 |
SAMPLE PROCESSOR USING CHARGED BEAM |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH06215723(A) |
申请公布日期 |
1994.08.05 |
| 申请号 |
JP19930007333 |
申请日期 |
1993.01.20 |
| 申请人 |
HITACHI LTD |
发明人 |
SATO HITOMI;ISHITANI TORU;ONISHI TAKESHI |
| 分类号 |
H01J37/22;H01J37/30;(IPC1-7):H01J37/30 |
主分类号 |
H01J37/22 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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