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发明名称 METHOD OF MANUFACTURING INTERCONNECTIONS OF INTEGRATED CIRCUITS
摘要
申请公布号 RU1695777(C) 申请公布日期 1994.07.30
申请号 SU19904774931 申请日期 1990.01.02
申请人 NAUCHNO-ISSLEDOVATELSKIJ INSTITUT MOLEKULYARNOJ ELEKTRONIKI 发明人 ZAGORODNEV I.A.;KUZNETSOV V.O.;SULIMIN A.D.;FATKIN A.A.;FISHEL I.SH.;SHISHKO V.A.
分类号 H01L21/28;(IPC1-7):H01L21/28 主分类号 H01L21/28
代理机构 代理人
主权项
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