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发明名称 PROCESS OF MANUFACTURE OF MIS LSI CIRCUITS
摘要
申请公布号 RU2017265(C1) 申请公布日期 1994.07.30
申请号 SU19915026421 申请日期 1991.12.10
申请人 KADMENSKIJ STANISLAV GEORGIEVICH 发明人 GITLIN VALERIJ R;IVAKIN ANATOLIJ N;KADMENSKIJ STANISLAV G;OSTROUKHOV SERGEJ S
分类号 H01L21/268;(IPC1-7):H01L21/268 主分类号 H01L21/268
代理机构 代理人
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