| 发明名称 |
STORAGE SPACE AND STORING METHOD FOR SEMICONDUCTOR WAFER AND THE LIKE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH06206605(A) |
申请公布日期 |
1994.07.26 |
| 申请号 |
JP19930003010 |
申请日期 |
1993.01.12 |
| 申请人 |
FUJITSU LTD;FUJITSU VLSI LTD |
发明人 |
WATANABE KENJI |
| 分类号 |
B65G1/02;B65G1/00;F24F7/06;H01L21/02;(IPC1-7):B65G1/02 |
主分类号 |
B65G1/02 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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