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发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH06204135(A) 申请公布日期 1994.07.22
申请号 JP19920361484 申请日期 1992.12.29
申请人 NIPPONDENSO CO LTD 发明人 SUZUKI YASUTOSHI;MIZUNO KOJU
分类号 H01L21/205;(IPC1-7):H01L21/205 主分类号 H01L21/205
代理机构 代理人
主权项
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