研磨装置及其研磨夹具和装于研磨夹具上的工件安装部件

摘要

一种紧凑而简单的研磨装置，它具有至少一个研磨夹具，其中工件被放在研磨盘的转动顶表面上。该研磨夹具上安装有一个研磨头，该研磨头装有一个工件和两个虚设工作材料，从而使这些虚设工件与工件一起构成应该被研磨的表面。在工件上提供了用于检测工件剩余部分的装置。该研磨装置的构成使能够通过一个滑动环把从转动的研磨头输出的代表工件剩余部分的检测信号和从控制单元输出的校正信号全都发送到研磨校正装置。$#!

主权项

1.一种用于研磨安装在工件安装部件(40)上的工件(3)的研磨装置(20)，其特点在于所述装置包括：在所述装置的主单元(10a)的上部提供的能转动的研磨盘(11)；至少一个放在研磨盘(11)上的研磨夹具(21)，它有一个安装部分，工件安装部件固定在这个安装部分上；以及用于控制所述研磨夹具(21)的控制单元(18)，这里所述研磨夹具(21)具有：适于在所述研磨盘(11)上能沿某一方向转动的研磨头(30)；以及强制所述研磨头(30)稳定转动的马达(24)，其中，除了所述工件安装部件外，所述研磨头(30)还有：至少两个虚设工作材料(7)，与所述工件(3)一起构成一个被抛光表面；研磨校正装置(60)用于根据校正信号驱动所述工件，从而校正所述工件的被研磨状态；传感器装置(37)，适于能转换所述工件(3)的剩余未被研磨量；电连接装置(25)，它是在所述研磨头(30)的转动轴的一个端部提供的，适于在转动状态把所述转动轴与所述控制单元(18)电连接；以及电导线装置(26)，用于通过前述研磨头(30)的所述转动轴的内部，与所述电连接装置(25)一起传送一个从所述传感器装置(37)发出的电信号和应该发送到所述研磨校正装置(60)的校正信号，而且其中所述控制单元(18)适于根据从所述传感器装置(37)发出的一个电信号输出一个校正信号，该校正信号通过所述电连接装置(25)和所述电导线装置(26)输出给所述研磨校正装置(60)。