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发明名称
摘要
申请公布号 JPH0654274(B2) 申请公布日期 1994.07.20
申请号 JP19880186331 申请日期 1988.07.26
申请人 发明人
分类号 G01L23/18;G01L1/18;G01L9/00;G01L9/04;H01L29/84;(IPC1-7):G01L9/04 主分类号 G01L23/18
代理机构 代理人
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