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发明名称 TRANSPORT ROBOT WITH COVER
摘要
申请公布号 JPH06198589(A) 申请公布日期 1994.07.19
申请号 JP19920360500 申请日期 1992.12.28
申请人 HITACHI LTD;HITACHI GAZOU JOHO SYST:KK;HITACHI KIDEN KOGYO LTD 发明人 SAKATA TOMOAKI;AZUMA HITOSHI;ITO TETSUO;FUKUWATARI ICHIRO
分类号 B25J19/00;B65G49/00;B65G49/07;G11B5/84;H01L21/677;H01L21/68;(IPC1-7):B25J19/00 主分类号 B25J19/00
代理机构 代理人
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