发明名称 FILM THICKNESS MEASURING DEVICE
摘要
申请公布号 JPH06201335(A) 申请公布日期 1994.07.19
申请号 JP19930001169 申请日期 1993.01.07
申请人 YOKOGAWA ELECTRIC CORP 发明人 TANAAMI TAKEO;MIKURIYA KENTA
分类号 G01B11/06;G01N21/25;(IPC1-7):G01B11/06 主分类号 G01B11/06
代理机构 代理人
主权项
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