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发明名称
INTERFEROMETER
摘要
申请公布号
JPH06201316(A)
申请公布日期
1994.07.19
申请号
JP19920347542
申请日期
1992.12.28
申请人
AGENCY OF IND SCIENCE & TECHNOL;KUBOTA CORP
发明人
SETA KATSUO;YAMAMOTO MASAMI
分类号
G01B9/02;(IPC1-7):G01B9/02
主分类号
G01B9/02
代理机构
代理人
主权项
地址
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