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发明名称 SURFACE TREATING METHOD OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH06196473(A) 申请公布日期 1994.07.15
申请号 JP19920359328 申请日期 1992.12.24
申请人 VICTOR CO OF JAPAN LTD 发明人 YATANI MITSUYOSHI
分类号 H01L21/304;H01L21/306;(IPC1-7):H01L21/306 主分类号 H01L21/304
代理机构 代理人
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