发明名称 SOI-MOSFET AND MANUFACTURE THEREOF AND FORMING METHOD FOR ALIGNMENT MARK
摘要
申请公布号 JPH06196698(A) 申请公布日期 1994.07.15
申请号 JP19920344811 申请日期 1992.12.24
申请人 SONY CORP 发明人 HASHIMOTO MAKOTO
分类号 H01L29/78;H01L29/786;(IPC1-7):H01L29/784 主分类号 H01L29/78
代理机构 代理人
主权项
地址