发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH06196481(A) 申请公布日期 1994.07.15
申请号 JP19920347122 申请日期 1992.12.25
申请人 SEIKO EPSON CORP 发明人 OGOSHI TAKESHI
分类号 H01L21/302;H01L21/3065;H01L21/3205;H01L21/3213;(IPC1-7):H01L21/320 主分类号 H01L21/302
代理机构 代理人
主权项
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