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发明名称 Discharge excitation gas laser device.
摘要
申请公布号 EP0493028(B1) 申请公布日期 1994.07.13
申请号 EP19910311883 申请日期 1991.12.20
申请人 MATSUSHITA ELECTRIC INDUSTRIAL CO., LTD 发明人 KOSUGI, NAOKI, C/O KOSUGI;SHIMADA, YASUHIRO;KAWAHARA, HIDEHITO;MIKI, TADAAKI;MIMASU, MUTSUMI
分类号 H01S3/097;H01S3/0971;H01S3/0977;(IPC1-7):H01S3/097 主分类号 H01S3/097
代理机构 代理人
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