发明名称 LIQUID PHASE GROWTH METHOD
摘要
申请公布号 JPH06191987(A) 申请公布日期 1994.07.12
申请号 JP19920347467 申请日期 1992.12.28
申请人 CANON INC 发明人 NISHIDA AKIYUKI
分类号 C30B19/02;H01L21/208;(IPC1-7):C30B19/02 主分类号 C30B19/02
代理机构 代理人
主权项
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