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<p>Diode utilisée dans un afficheur à cristaux liquides du type à matrice active. On peut réduire la capacité parasite de la diode, et former une couche à superficie importante et à épaisseur homogène, ce qui rend possible la fabrication d'un afficheur à cristaux liquides de grandes dimensions. Une diode métal-isolant-métal (MIM) possède une structure constituée d'une couche métallique pour l'électrode de traversée raccordée à un bus de données, d'une couche d'oxyde d'étain dopé à l'indium (ITO) pour l'électrode transparente de formation d'un pixel, d'une couche métallique pour une électrode raccordant à la couche ITO la couche métallique pour l'électrode de traversée, et d'une couche isolante comprise entre les couches métalliques pour l'électrode de traversée et pour l'électrode de raccordement. Dans cette diode, une couche d'oxyde d'aluminium poreux (AL2O3-p) est formée entre la couche isolante et la couche métallique pour l'électrode de raccordement.</p> |
