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发明名称 Messfuehler mit piezoresistiven Widerstaenden
摘要
申请公布号 DD252885(B5) 申请公布日期 1994.07.07
申请号 DD19860294653 申请日期 1986.09.25
申请人 ZENTRUM MIKROELEKTRONIK DRESDEN GMBH;ZENTRALINSTITUT FUER KERNFORSCHUNG 发明人 SCHUBERT, DIETRICH, DR.-ING.;JENSCHKE, WOLFGANG, DR.-ING.;UHLIG, THOMAS, DIPL.-PHYS.
分类号 G01L9/06;(IPC1-7):G01L9/06 主分类号 G01L9/06
代理机构 代理人
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