发明名称 Overload-proof capacitive pressure sensor.
摘要
申请公布号 EP0373536(B1) 申请公布日期 1994.07.06
申请号 EP19890122704 申请日期 1989.12.08
申请人 FIBRONIX SENSOREN GMBH 发明人 ORLOWSKI, RAINER, PROF DR.;DASCH, WOLFGANG, DR.;LIEHR, MANFRED;SCHUR, MICHAEL
分类号 G01L9/00;(IPC1-7):G01L9/00 主分类号 G01L9/00
代理机构 代理人
主权项
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