发明名称 Light-sensitive composition.
摘要
申请公布号 EP0388482(B1) 申请公布日期 1994.07.06
申请号 EP19890104948 申请日期 1989.03.20
申请人 SIEMENS AKTIENGESELLSCHAFT 发明人 KUEHN, EBERHARD;HAMMERSCHMIDT, ALBERT, DR. DIPL.-CHEM.;SCHMIDT, ERWIN;AHNE, HELLMUT, DR. DIPL.-CHEM.
分类号 G03F7/038;C08K5/3432;C08L101/00;G03F7/004;G03F7/26;H01L21/027;H01L21/30;(IPC1-7):G03F7/004 主分类号 G03F7/038
代理机构 代理人
主权项
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