| 发明名称 |
Tape extension device for semiconductor producing apparatus and semiconductor apparatus producing apparatus with tape extension device |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
GB9410088(D0) |
申请公布日期 |
1994.07.06 |
| 申请号 |
GB19940010088 |
申请日期 |
1994.05.19 |
| 申请人 |
TEIKOKU SEIKI KABUSHIKI KAISHA |
发明人 |
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| 分类号 |
H01L21/683;B65H23/022;B65H23/04;H01L21/00;H01L21/301 |
主分类号 |
H01L21/683 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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