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<P>Lorsque le capteur est accéléré, une force externe est appliquée à une masse pesante (20). Cette force est transmise à une partie active (11), ce qui déforme une partie souple (12). Il apparaît alors une variation de la distance entre des électrodes liées à une partie fixe d'une pastille semiconductrice et des électrodes liées à la surface inférieure de la masse pesante suivant les directions X et Y, si bien que la capacité électrostatique entre électrodes opposées varie. L'amplitude de variation de la distance entre électrodes opposées est déterminée à partir de la différence entre les fréquences respectivement dues aux variations de la capacité formée entre les électrodes X1 et X2 . On peut alors déterminer l'accélération à un moment donné à partir d'un graphe préalablement formé qui relie l'accélération et l'amplitude de variation de la distance entre les électrodes.</P> |
