发明名称 METHOD OF EXTRACTING GROWTH CLUSTERS IN MONOCRYSTAL SILICON
摘要
申请公布号 RU1083848(C) 申请公布日期 1994.06.30
申请号 SU19823494348 申请日期 1982.09.29
申请人 SMULSKIJ A.S.;ITALYANTSEV A.G.;MORDKOVICH V.N.;INOZEMTSEV S.A.;KUZNETSOV YU.A.;MILVIDSKIJ M.G. 发明人 SMULSKIJ A.S.;ITALYANTSEV A.G.;MORDKOVICH V.N.;INOZEMTSEV S.A.;KUZNETSOV YU.A.;MILVIDSKIJ M.G.
分类号 H01L21/322;(IPC1-7):H01L21/322 主分类号 H01L21/322
代理机构 代理人
主权项
地址