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发明名称 Verfahren zur Herstellung einer Halbleitervorrichtung.
摘要
申请公布号 DE68911748(T2) 申请公布日期 1994.06.30
申请号 DE19896011748T 申请日期 1989.05.10
申请人 N.V. PHILIPS' GLOEILAMPENFABRIEKEN, EINDHOVEN 发明人 SCHELLEKENS, JACOBUS PETRUS WILHELMUS, NL-5656 AA EINDHOVEN;VISSER, ROBERT JAN, NL-5656 AA EINDHOVEN
分类号 G03F7/38;G03F7/26;H01L21/027;(IPC1-7):G03F7/26 主分类号 G03F7/38
代理机构 代理人
主权项
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