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发明名称 Verfahren zur Herstellung von hochreinen Kathoden auf Aluminiumbasis für Kathodenzerstäubung.
摘要
申请公布号 DE69102101(D1) 申请公布日期 1994.06.30
申请号 DE19916002101 申请日期 1991.07.08
申请人 ALUMINIUM PECHINEY, COURBEVOIE 发明人 LEGRESY, JEAN-MARC, F-38120 ST EGREVE;MARTICOU, MARC-HENRI, F-09000 FOIX
分类号 C22F1/043;C23C14/34;(IPC1-7):C23C14/34 主分类号 C22F1/043
代理机构 代理人
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