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发明名称 Scanning device for optically scanning a surface along a line.
摘要
申请公布号 EP0437883(B1) 申请公布日期 1994.06.29
申请号 EP19900203396 申请日期 1990.12.18
申请人 N.V. PHILIPS' GLOEILAMPENFABRIEKEN 发明人 VAN AMSTEL, WILLEM DIRK;HORIJON, JOSEPH LOUIS
分类号 G02B26/12;G01N21/89;G02B26/10;G02B27/00;G06K7/10;H01L21/00;H01L21/68;(IPC1-7):G02B26/10 主分类号 G02B26/12
代理机构 代理人
主权项
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