发明名称
摘要
申请公布号 JPH0649936(B2) 申请公布日期 1994.06.29
申请号 JP19860029191 申请日期 1986.02.13
申请人 发明人
分类号 H01L21/285;C23C14/34;C23C14/40;C23C14/54;H01L21/203;H01L21/31;(IPC1-7):C23C14/34 主分类号 H01L21/285
代理机构 代理人
主权项
地址