| 发明名称 |
METHOD AND EQUIPMENT FOR CLEANING SURFACE OF COMPOUND SEMICONDUCTOR |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH06177102(A) |
申请公布日期 |
1994.06.24 |
| 申请号 |
JP19910135669 |
申请日期 |
1991.05.10 |
| 申请人 |
NIPPON TELEGR & TELEPH CORP <NTT> |
发明人 |
HIROTA YUKIHIRO;SUGII KIYOMASA |
| 分类号 |
H01L21/304;H01L21/306;(IPC1-7):H01L21/304 |
主分类号 |
H01L21/304 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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