| 发明名称 |
METHOD AND DEVICE FOR FORMING SUPER-MAGNETOSTRICTIVE FILM FOR STRESS AND DISTORTION DETECTOR |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH06174568(A) |
申请公布日期 |
1994.06.24 |
| 申请号 |
JP19920350722 |
申请日期 |
1992.12.04 |
| 申请人 |
SUMITOMO LIGHT METAL IND LTD;NIPPON KEIKI SEISAKUSHO:KK |
发明人 |
NAOE MASAHISA;MIZUTANI HIROYUKI;NAKAYAMA KIYOSHI;KAMEGAWA YUTAKA;SUZUKI MASAYUKI;SHIMIZU TERUO |
| 分类号 |
C23C4/04;G01L1/12;G01L3/10;G01L9/16;H01L41/12;(IPC1-7):G01L3/10 |
主分类号 |
C23C4/04 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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