发明名称
摘要
申请公布号 JPH0648701(B2) 申请公布日期 1994.06.22
申请号 JP19930028684 申请日期 1993.01.25
申请人 发明人
分类号 H01L21/66;(IPC1-7):H01L21/66 主分类号 H01L21/66
代理机构 代理人
主权项
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