发明名称 STAINLESS STEEL MEMBER FOR SEMICONDUCTOR PRODUCING DEVICE
摘要
申请公布号 JPH06172934(A) 申请公布日期 1994.06.21
申请号 JP19920351746 申请日期 1992.12.08
申请人 HITACHI METALS LTD 发明人 KAWADA TSUNEHIRO;KOJO KATSUHIKO;KAZAMA YOICHIRO;FUKAYA TAKEKAZU;TSUJIMURA TOSHIHIKO
分类号 C22C38/00;C22C38/44;C22C38/58;C23C22/00;C25F3/06;(IPC1-7):C22C38/00 主分类号 C22C38/00
代理机构 代理人
主权项
地址