发明名称 |
STAINLESS STEEL MEMBER FOR SEMICONDUCTOR PRODUCING DEVICE |
摘要 |
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申请公布号 |
JPH06172934(A) |
申请公布日期 |
1994.06.21 |
申请号 |
JP19920351746 |
申请日期 |
1992.12.08 |
申请人 |
HITACHI METALS LTD |
发明人 |
KAWADA TSUNEHIRO;KOJO KATSUHIKO;KAZAMA YOICHIRO;FUKAYA TAKEKAZU;TSUJIMURA TOSHIHIKO |
分类号 |
C22C38/00;C22C38/44;C22C38/58;C23C22/00;C25F3/06;(IPC1-7):C22C38/00 |
主分类号 |
C22C38/00 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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