发明名称 ORIENTED DIAMOND FILM AND ITS FORMATION
摘要
申请公布号 JPH06172088(A) 申请公布日期 1994.06.21
申请号 JP19930190904 申请日期 1993.07.02
申请人 KOBE STEEL LTD 发明人 POORU SAUSUWAASU;DEEBITSUTO SUTEFUAN BUHAENKO;PIITAA JIYON ERISU;KIYARORAIN ERIZABESU JIENKINSU;BURAIAN RAIZU SUTOONAA
分类号 C30B25/02;C23C16/02;C23C16/27;C30B25/10;C30B25/18;C30B29/04;H01L21/203;(IPC1-7):C30B29/04 主分类号 C30B25/02
代理机构 代理人
主权项
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