发明名称 |
ORIENTED DIAMOND FILM AND ITS FORMATION |
摘要 |
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申请公布号 |
JPH06172088(A) |
申请公布日期 |
1994.06.21 |
申请号 |
JP19930190904 |
申请日期 |
1993.07.02 |
申请人 |
KOBE STEEL LTD |
发明人 |
POORU SAUSUWAASU;DEEBITSUTO SUTEFUAN BUHAENKO;PIITAA JIYON ERISU;KIYARORAIN ERIZABESU JIENKINSU;BURAIAN RAIZU SUTOONAA |
分类号 |
C30B25/02;C23C16/02;C23C16/27;C30B25/10;C30B25/18;C30B29/04;H01L21/203;(IPC1-7):C30B29/04 |
主分类号 |
C30B25/02 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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