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发明名称 METHOD OF MANUFACTURING SEMICONDUCTOR STRUCTURES
摘要
申请公布号 RU1738035(C) 申请公布日期 1994.06.15
申请号 SU19874239871 申请日期 1987.04.30
申请人 NAUCHNO-ISSLEDOVATELSKIJ INSTITUT "PULSAR" 发明人 KOMKOVA G.G.;ROGOV V.V.;SHEREMETEV E.N.;AROSEV A.V.
分类号 H01L21/304;(IPC1-7):H01L21/304 主分类号 H01L21/304
代理机构 代理人
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