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发明名称 MICRODEVICE EVALUATING APPARATUS
摘要
申请公布号 JPH06168992(A) 申请公布日期 1994.06.14
申请号 JP19910126152 申请日期 1991.05.29
申请人 YOKOGAWA ELECTRIC CORP 发明人 OTE AKIRA
分类号 G01R31/26;G01R1/073;H01L21/66;(IPC1-7):H01L21/66 主分类号 G01R31/26
代理机构 代理人
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