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发明名称 METHOD AND SYSTEM FOR DEPOSITING INSULATION FILM
摘要
申请公布号 JPH06168895(A) 申请公布日期 1994.06.14
申请号 JP19920343170 申请日期 1992.11.30
申请人 NEC CORP 发明人 SAITO YOSHIHARU
分类号 H01L21/205;H01L21/302;H01L21/3065;H01L21/365;(IPC1-7):H01L21/205 主分类号 H01L21/205
代理机构 代理人
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