| 发明名称 |
OUTPUT CONTROLLOR FOR LASER DEVICE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH06169123(A) |
申请公布日期 |
1994.06.14 |
| 申请号 |
JP19920320566 |
申请日期 |
1992.11.30 |
| 申请人 |
KOMATSU LTD |
发明人 |
ITOU NORIAKI;AMADA YOSHIO |
| 分类号 |
G03F7/20;H01L21/027;H01L21/30;H01S3/104;(IPC1-7):H01S3/104 |
主分类号 |
G03F7/20 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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