发明名称 METHOD FOR INSPECTING EMBEDDED STATE IN HOLE
摘要
申请公布号 JPH06163665(A) 申请公布日期 1994.06.10
申请号 JP19920317153 申请日期 1992.11.26
申请人 SONY CORP 发明人 AMAGASAKI YOSHIHIRO
分类号 H01L21/66;H01L21/768;H01L23/522;(IPC1-7):H01L21/66;H01L21/90 主分类号 H01L21/66
代理机构 代理人
主权项
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