| 发明名称 |
SEMICONDUCTOR WAFER INSPECTION DEVICE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH06163651(A) |
申请公布日期 |
1994.06.10 |
| 申请号 |
JP19920308497 |
申请日期 |
1992.11.18 |
| 申请人 |
HITACHI LTD;HITACHI COMPUT ENG CORP LTD |
发明人 |
IKEDA TETSUJI |
| 分类号 |
G01R1/073;H01L21/66;(IPC1-7):H01L21/66 |
主分类号 |
G01R1/073 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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