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发明名称 FABRICATION OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH06163516(A) 申请公布日期 1994.06.10
申请号 JP19920311567 申请日期 1992.11.20
申请人 KAWASAKI STEEL CORP 发明人 KUNO ISAMU
分类号 H01L21/306;H01L21/308;H01L21/768;(IPC1-7):H01L21/308 主分类号 H01L21/306
代理机构 代理人
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